10501 微系統設計

第7講 MEMS Design Through Foundries

課程影音

L7_A

 L7_A
       1. MEMS Design Through Foundries
       2. MEMS on CMOS Chip Examples



L7_B
       1. MUMPS(Multi-User MEMS Process) Examples
       2. LIGA Process and Deep Silicon RIE 
       3. MEMS Design Using MOSIS/SCNA Process
       4. Introduction of MOSFET

 

L7_C
       1. I-V Curve of MOSFET



L7_D
       1. Layout Process of a CMOS

 


L7_E
       1. MOSIS/SCNA Process Layer Names 
       2. Design Rules for MOSIS/SCNA 2.0
       3. Methods for Fabricating MEMS Device on CMOS Chip

【6/21 @ 109學年度第2學期休學申請截止Last Day to Withdraw from School】   ♠   【6/28 @ 教師送繳應屆畢業生109學年度第2學期成績截止Deadline for 2021 Spring Grade Submission for Graduating Students】   ♠   【6/28 @ 暑假開始Summer Vacation Begins】   ♠   【6/28 @ 暑期班選課及繳費開始(至7月9日止)Course Selection and Fee Paying Begins for Summer Session (6/28-7/9)】   ♠   【7/1 @ 暑期班上課開始Summer Session Begins】   ♠   【7/5 @ 110學年度暑碩專班上課開始、註冊日、休退學及畢業生免繳學雜費截止2021 Summer In-service Master Program Begins; Registration (2021 Summer In-service Master Program)】   ♠   【7/9 @ 教師送繳非應屆畢業生109學年度第2學期成績截止Deadline for 2021 Spring Grade Submission】   ♠   【7/23 @ 110學年度暑碩專班休退學及畢業生退2/3學雜費(學分費)截止Last Day for 2/3 Tuition and Fees Refunded(graduates or full withdrawal of 2021 Summer In-service Master Program)】   ♠   【7/30 @ 109學年度第2學期結束2021 Spring Semester Ends】   ♠   【6/14全球事務處】110年「強化與東協及南亞國 家合作交流計畫」（新南向計畫）開放申請至6月14日!   ♠   【6/5研究發展處】【計畫徵求公告】閎康科技產學合作計畫!   ♠   【清華學院】弦歌不輟，遠距上路！語文中心外語進修暑期班採全遠距教學，防疫同時安心學！   ♠   【6/7計算機與通訊中心】填卷送禮、抽獎！「校園網路與授權軟體服務品質問卷調查活動」，歡迎全校教職員工生登入校務資訊系統填卷 (110/6/7上午9:00 ~110/6/18)   ♠   【6/13清華新聞】清大與英國利物浦大學合作 成功研發新型鈣空氣電池儲存機制!   ♠   【6/13 陽明交大新聞】疫情升溫電信強攻智慧醫療　血氧監測雲端平台吸睛!   ♠   【6/13 成大新聞】攜手成大 大河里福德祠邁向數位營造!   ♠   【7/26 人事室】科技部111年度(第60屆)補助科學與技術人員國外短期研究案!   ♠