10501 工程學群 工程與系統科學系

微系統設計

曾繁根 教授

工程與系統科學系

國立清華大學原子科學院  特聘教授
加州大學洛杉磯分校(UCLA)機械航空工程 博士

【經歷】 美國麻省理工學院Koch癌症積體研究中心訪問教授 (2014.8-2015.7) 
 
清華大學全球事務處副全球長兼國際組組長  (2013.2-2014.4) 
清華大學工程與系統科學系系主任(2010.1-2013.1)
美國洛杉磯加大積體細胞控制中心訪問教授 (2007.06-09)
【榮譽】 有庠科技論文獎綠色科技類(2014.4) 

美國機械工程師協會會士(ASME Fellow) (2014.2) 
國家新創獎(2013.12) 
國科會傑出研究獎(2010)
網站】 fangang.web.nthu.edu.tw
【授課 微系統設計、微系統工程原理 、高等微系統製造與實驗 
專長 生醫奈微米機電系統、奈/微米流體及熱傳、微型燃料電池
   

News

最新公告

2024-06-11 2024暑期工讀招募至6/17(一)12:00截止!
2024-05-27 敬祝各位老師端午佳節愉快!
2024-05-16 10920趙啟超教授離散數學版書上架通知!!謝謝大家!!
2024-05-16 【12/27 白先勇與吳素君教授〡天倫之歌-《孽子》2020舞台劇的幕前、幕後演講活動分享】
2024-05-16 【開放式課程】您想知道清大有哪些優質的免費課程嗎 ? 您想提升自我競爭力、一睹大師的上課風采盡在 NTHU OCW ! !
2024-05-16 【魅力專欄】鄉民最愛迷因網站梗圖倉庫-用鄉民梗激發您的學習力 !
2024-05-16 【2024開放式課程*超猛筆記大募集】我們深信學習不是少數人的事,而是所有人的事,敬邀您的熱血參與!!!
2024-05-16 恭賀 數學系程守慶教授獲聘為113年度「理學院終身榮譽講座教授」!
2024-05-16 【開放式課程魅力專題報導】馬斯克時間拳擊法!馬斯克是1年當8年用、而我們是8年當1年用,如何對症下藥逆轉人生一窺箇中奧秘!
2024-05-16 【2023/12/27首頁故事:動機系葉廷仁特聘教授清華學生團隊打造自動平衡摩托車】
2024-05-16 【分享是最偉大的學習】清華大學電機系〡馬席彬教授專訪!
2024-05-16 2020-2023 年度熱門課程 : 資工系周志遠教授簡介
2024-05-16 2024.3/27中技社:AI在服務領域應用研討會(線上與實體同步)敬邀您的熱情參與!
2024-02-15 【11202 開放式課程工讀招募】沒有穩定的工作、只有穩定的能力,誠摯地歡迎您加入我們的行列!!
2024-01-12 恭賀 數學系程守慶教授獲聘為113年度「理學院終身榮譽講座教授」!

Syllabus

課程大綱

This course teachs student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Mciro System Technology)knoweledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) ....

 

Course Description
This course teaches student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Micro System Technology)knowledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) and simple physical model on accelerator and combdrive actuator will be elaborated to demonstrate the design process. Finally, The student will combine the knowledge learned from the course to design and present their own MEMS device. This course is offered in English. 
 
  
Textbooks 
♠  Micro System Design Class Notes, Fan-Gang Tseng, please download them 

at fangang.web.nthu.edu.tw. 
♠  CMOS layout design-using L-Edit, (CMOS 實體層設計-使用L-EDIT), by Uyemura, 

楊忠煌譯, 高立出 版社, 1998. 
♠  Microsystem Design, Stephen D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, 

Boston, 2000.
 
 
 
References 
1
 
Micromachines, a new era in mechanical engineering, Iwao Fujimasa, Oxford Science Publication, 1996. 


Micro Mechanics and MEMS, classic and seminar papers to 1990, William S. Trimmer, IEEE press, 1997. 
3
 
On Size and Life, T. A. McMahon and J. T. Bonner, Scientific American Library, 1983. 
Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997
5  Micromachined Transducers source book, Gregory T.A. Kovacs, McGraw Hill, 1998 
Semiconductor Sensors, S.M. Sze, Wiley Inter. Science, 1994. 
 
 
 
Teaching Method
Lectures, CAD software hand on practice, presentations 
 
 
 
Syllabus
Tentative Outline for Micro System Design:
1
 
Scope of the Micro System Design, the current status of Micro System Technology 
Brief Review of MEMS technology I - Scaling law (hw#1) 
3  Brief Review of MEMS technology III- lithography and IC process
Brief Review of MEMS technology II- Bulk micromachining (hw#2) 
5  Brief Review of MEMS technology IV- Surface micromachining, and others. 
Midterm#1 
7
 
Introduction and hand-on practice of MEMS design software-LEIDT (hw#3,) ( team formation) 
IC and MEMS foundry I.-MOSIS 
9  Coventerware ( High Speed Computer Centre) 
10 

Design example I: IC process and Micro accelerometer design using MOSIS process (hw#4) 
11  Midterm #2 
12  IC and MEMS foundry II.-.Cronos 
13 

Design example II: Micro comb-drive motor design using MUMPS process (hw#5) 
14  Thermal actuator design 
15 

Special topics on MEMS design
(Micro Droplet generator, BioMEMS and Micro Fluidics)
16  Final presentation 


Final report due: one week after the final presentation 

 
 

Keyword

關鍵字

  • Micro System Design
  • Scaling Law & Isometric and Allometric
  • Semiconductor Interconnection and contacts
  • Semiconductor Interconnection and contacts
  • MCNC/MUMPS Structure
  • Spring System of Comb Drive Actuator
  • Thermal Actuator Fundamental

Teachers

曾繁根 教授

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