10501 工程學群 工程與系統科學系

微系統設計

曾繁根 教授

工程與系統科學系

國立清華大學原子科學院  特聘教授
加州大學洛杉磯分校(UCLA)機械航空工程 博士

【經歷】 美國麻省理工學院Koch癌症積體研究中心訪問教授 (2014.8-2015.7) 
 
清華大學全球事務處副全球長兼國際組組長  (2013.2-2014.4) 
清華大學工程與系統科學系系主任(2010.1-2013.1)
美國洛杉磯加大積體細胞控制中心訪問教授 (2007.06-09)
【榮譽】 有庠科技論文獎綠色科技類(2014.4) 

美國機械工程師協會會士(ASME Fellow) (2014.2) 
國家新創獎(2013.12) 
國科會傑出研究獎(2010)
網站】 fangang.web.nthu.edu.tw
【授課 微系統設計、微系統工程原理 、高等微系統製造與實驗 
專長 生醫奈微米機電系統、奈/微米流體及熱傳、微型燃料電池
   

News

最新公告

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2024-02-15 【11202 開放式課程工讀招募】沒有穩定的工作、只有穩定的能力,誠摯地歡迎您加入我們的行列!!
2024-02-07 【2024開放式課程*超猛筆記大募集】我們深信學習不是少數人的事,而是所有人的事,敬邀您的熱血參與!!!
2024-01-17 恭賀 數學系程守慶教授獲聘為113年度「理學院終身榮譽講座教授」!
2024-01-15 【分享是最偉大的學習】清華大學電機系〡馬席彬教授專訪!
2024-01-12 恭賀 數學系程守慶教授獲聘為113年度「理學院終身榮譽講座教授」!
2024-01-09 【2023/12/27首頁故事:動機系葉廷仁特聘教授清華學生團隊打造自動平衡摩托車】
2024-01-09 【12/27 白先勇與吳素君教授〡天倫之歌-《孽子》2020舞台劇的幕前、幕後演講活動分享】
2024-01-09 【12/27白先勇清華文學講座:大師月系列講座】白先勇與吳素君教授〡天倫之歌-《孽子》2020舞台劇的幕前幕後,敬邀您的熱情參與!
2023-12-28 2024.2/15-2/16 教學助理研習營活動,敬邀您的熱情參加!
2023-12-18 10920趙啟超教授離散數學作業與解答!
2023-12-18 10920趙啟超教授離散數學版書上架通知!!謝謝大家!!
2023-11-28 「2023白先勇清華文學講座:文化的記憶與重建」將於年底迎來「大師月」系列課程, 由四組重量級嘉賓擔任主講,講座訊息請點入閱讀。
2023-11-20 【2023/12/8-2024/1/2教學助理教學意見調查】期中期末大爆炸,助教考卷改到炸!若您曾受惠於TA,匿名填卷表感謝,愛的鼓勵兩相悅!!

Syllabus

課程大綱

This course teachs student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Mciro System Technology)knoweledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) ....

 

Course Description
This course teaches student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Micro System Technology)knowledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) and simple physical model on accelerator and combdrive actuator will be elaborated to demonstrate the design process. Finally, The student will combine the knowledge learned from the course to design and present their own MEMS device. This course is offered in English. 
 
  
Textbooks 
♠  Micro System Design Class Notes, Fan-Gang Tseng, please download them 

at fangang.web.nthu.edu.tw. 
♠  CMOS layout design-using L-Edit, (CMOS 實體層設計-使用L-EDIT), by Uyemura, 

楊忠煌譯, 高立出 版社, 1998. 
♠  Microsystem Design, Stephen D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, 

Boston, 2000.
 
 
 
References 
1
 
Micromachines, a new era in mechanical engineering, Iwao Fujimasa, Oxford Science Publication, 1996. 


Micro Mechanics and MEMS, classic and seminar papers to 1990, William S. Trimmer, IEEE press, 1997. 
3
 
On Size and Life, T. A. McMahon and J. T. Bonner, Scientific American Library, 1983. 
Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997
5  Micromachined Transducers source book, Gregory T.A. Kovacs, McGraw Hill, 1998 
Semiconductor Sensors, S.M. Sze, Wiley Inter. Science, 1994. 
 
 
 
Teaching Method
Lectures, CAD software hand on practice, presentations 
 
 
 
Syllabus
Tentative Outline for Micro System Design:
1
 
Scope of the Micro System Design, the current status of Micro System Technology 
Brief Review of MEMS technology I - Scaling law (hw#1) 
3  Brief Review of MEMS technology III- lithography and IC process
Brief Review of MEMS technology II- Bulk micromachining (hw#2) 
5  Brief Review of MEMS technology IV- Surface micromachining, and others. 
Midterm#1 
7
 
Introduction and hand-on practice of MEMS design software-LEIDT (hw#3,) ( team formation) 
IC and MEMS foundry I.-MOSIS 
9  Coventerware ( High Speed Computer Centre) 
10 

Design example I: IC process and Micro accelerometer design using MOSIS process (hw#4) 
11  Midterm #2 
12  IC and MEMS foundry II.-.Cronos 
13 

Design example II: Micro comb-drive motor design using MUMPS process (hw#5) 
14  Thermal actuator design 
15 

Special topics on MEMS design
(Micro Droplet generator, BioMEMS and Micro Fluidics)
16  Final presentation 


Final report due: one week after the final presentation 

 
 

Keyword

關鍵字

  • Micro System Design
  • Scaling Law & Isometric and Allometric
  • Semiconductor Interconnection and contacts
  • Semiconductor Interconnection and contacts
  • MCNC/MUMPS Structure
  • Spring System of Comb Drive Actuator
  • Thermal Actuator Fundamental

Teachers

曾繁根 教授

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