10501 工程與系統科學系 微系統設計

授課老師

課程試聽
曾繁根 教授
國立清華大學原子科學院  院長與特聘教授 

加州大學洛杉磯分校（UCLA）機械航空工程 博士

 
【經歷】
＊美國麻省理工學院Koch癌症積體研究中心訪問教授 (2014.8-2015.7) 
＊清華大學全球事務處副全球長兼國際組組長  (2013.2-2014.4) 
＊清華大學工程與系統科學系系主任（2010.1-2013.1)
＊美國洛杉磯加大積體細胞控制中心訪問教授 (2007.06-09)
【榮譽】
＊有庠科技論文獎綠色科技類（2014.4） 
＊美國機械工程師協會會士(ASME Fellow) (2014.2)
＊國家新創獎(2013.12)
＊國科會傑出研究獎(2010)
＊國科會吳大猷先生紀念獎(2005-2007)
【網站】 fangang.web.nthu.edu.tw
【授課】 微系統設計、微系統工程原理 、高等微系統製造與實驗 
【專長】 生醫奈微米機電系統、奈/微米流體及熱傳、微型燃料電池
 
  
 


 

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2019-08-02 教學發展中心第17期電子報
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2019-08-02 Coursera .EDX . Udacity. Iversity .FutureLearn Moocs 平台分析比較
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2019-08-02 【開放式課程學生筆記招募 - 三電一體 * 總體經濟 * 生產計畫 篇】
2019-08-02 【第15期教學發展中心電子報】
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2019-08-01 持著三個臭皮匠勝過一個諸葛亮的概念，OCW再度推出【數位教材專區】具焦清華學子的學習歷程!
2019-08-01 【10320工程數學錄製工讀招募，歡迎你的加入！】
2019-08-01 【１１／２７學習系列講座】葉丙成教授新時代大學人才養成演講活動敬邀您的參與！
2019-08-01 【10410 工讀招募】誠徵課程錄影工讀生，歡迎志同道合的你加入我們的行列！
2019-08-01 教師魅力專欄與學生筆記新鮮發行！
2019-08-01 【工讀招募】誠徵課程錄影工讀生！
2019-08-01 【10420工讀招募】誠徵課程錄影工讀生！
2019-08-01 10410 陳福榮教授電子顯微鏡一課程講義新上市！
2019-08-01 請來看看烏賊也會看臉色
2019-08-01 【10420工讀招募】文學創作與導論誠徵課程錄影工讀生！
2019-08-01 【5/11 10:10-12:30演講活動 】寬闊， 文字與文學開展的文創故事敬邀您的熱情參與!
2019-08-01 【凌亂的天書筆記、瞌睡中錯過的重點整理，是否讓你感到無力、想要放棄? OCW 陪您一起力挽狂瀾、拯救錯過的學習機會! 】
2019-08-01 【10510工讀招募：2016/9開學 - 2017/1期末】開放式課程誠徵課程錄影工讀生！
2019-08-01 【暑修急救站】 高姊姊開課－引領你(妳）如何有效學習微積分！
2019-08-01 【暑修急救站】豪豬教授引領你(妳)學物理豪好玩！
2019-08-01 【10510工讀招募】開放式課程誠徵課程錄影工讀生！
2019-08-01 【10510工讀招募】誠徵材料動力學課程錄影工讀生！
2019-08-01 ＊開放式課程誠徵文案撰寫鬼才!!
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2019-08-01 【獨家】10420－10620開放式課程預計拍攝課程資訊！若有變動以當年度課程發佈為主，謝謝！
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2019-08-01 【學習尖端科技不用ｐａｙ，只要跟著音訊玩家一起Ｐｌａｙ!!】
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2019-08-01 2016桃竹苗成果展-林秀豪教授活動花絮照片！
2019-08-01 2016桃竹苗成果展- 焦傳金教授活動花絮照片！
2019-07-26 清華大學開放式課程推動的目標與未來展望!
2019-07-26 2016年清華大學開放式課程簡介
2019-07-26 【誠徵早鳥課程錄影工讀生！】
2019-07-26 10520古籍導讀_真古文與真古文《尚書》與偽古文《尚書》對照表
2019-07-26 【敬祝各位親愛的使用者們 ：母親節愉快唷！】
2019-07-26 【敬祝各位親愛的教授 ：母親節愉快唷！】
2019-07-26 【2017OCW鬼才招募令】誠徵資訊、美術、剪輯、文書、課程錄影與剪輯工讀生！
2019-07-26 【2017.7/27-7/28】開放式課程系統維護通知!
2019-07-26 【系統維護通知】106/9/3(日)上午7：00-12：00校園主幹網路維護通知!
2019-07-26 【系統升級】字幕系統功能擴增，若有錯誤之處請多多包含！
2019-07-26 【開放式課程字幕校對工讀招募!】已額滿！
2019-07-26 清華大學開放式課程系統升級通知-【課程連動系統】本日新鮮發行中！
2019-07-26 10310張元教授: 【資治通鑑選讀：兩晉】書籍一覽表
2019-07-26 高淑蓉教授高等微積分第1至5講次已於10/26上線!謝謝!
2019-07-26 【學習無藩籬＊考試無邊界】開放式課程伴您乏味變興味-影音播放器再升級，重複播放到您滿意為止!
2019-07-26 國立清華大學開放式課程 - 給想體驗如入實境的臨場感，喜歡變化且勇於嘗試的你一個最佳選擇！
2019-07-26 開放式課程陪您打贏期末這場戰役 ! 衝刺吧!各位同學們!!
2019-07-26 敬祝各位老師端午佳節愉快！
2019-07-26 【系統升級】97至99學年度的34門影音課程{無需下載}即可進行{線上觀看}!
2019-07-26 2018/9.1(六) &9.8(六)2天清華大學主幹網路維護通知!
2019-07-22 【清華學子們請您懷抱一顆感恩的心說聲：母親節愉快唷！】
2019-07-22 【10710 開放式課程工讀招募 - 歡迎志同道合的你加入我們的行列!】
2019-07-22 【10810開放式課程誠徵錄影工讀生1名】
2019-07-22 【開放式課程】找尋興趣，提早準備，贏在起跑點！
2019-07-22 校園網路與授權軟體服務品質調查，歡迎您踴躍填卷!
2019-07-22 讓資工系志遠教授替您量身打造OS夢幻團隊征戰國際、絕非夢想!
2019-07-22 【2019清大期末教學意見調查問卷】即日起到108/6/16截止,登入〈校務資訊系統〉填問卷, 填完可獲得清華限定紀念品呦!
2019-07-22 【6/5 (三) 開放式課程系統升級暫停服務1天!】
2019-07-22 【宅男大教授，讓你的遊戲設計夢不再沉默！】
2016-05-08 【清華學子們請您懷抱一顆感恩的心說聲：母親節愉快唷！】
2015-10-29 【清華大學】開放式課程 影音重現 加速你(妳)的學習記憶！
2015-05-05 【學習無藩籬─把清大老師帶回家！】只要你有求知的欲望，只要你有學習的熱情，清華大學開放式課程都挺你！
2015-05-05 【清華學子們請您懷抱一顆感恩的心說聲：母親節愉快唷！】
2015-04-30 【NTHU OCW】No Barrier for Learning. Bring NTHU’s Teachers Home.
2015-04-07 開放式課程讓您秀才不出門，就能翱遊全世界知名大學的課程！

課程大綱

This course teachs student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Mciro System Technology)knoweledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) ....


 

【 Course Description 】
This course teachs student to utilize fundamental MEMS/MST (Micro-Electro-Mechanical System/Mciro System Technology)knoweledge combined with MEMS CAD software to design real MEMS/MST devices. Two commercial available MEMS foundries (MOSIS/SCNA and MCNC/MUMPS) and simple physical model on accelerator and combdrive actuator will be elaborated to demonstrate the design process. Finally, The student will combine the knoweledge learned from the course to design and present their own MEMS device. This course is offered in English. 


【 Textbooks 】
1  Micro System Design Class Notes, Fan-Gang Tseng, please download them at fangang.web.nthu.edu.tw. 
2  CMOS layout design-using L-Edit, (CMOS 實體層設計-使用L-EDIT), by Uyemura, 楊忠煌譯, 高立出 版社, 1998. 
3  Microsystem Design, Stephen D. Senturia, Kluwer Academic Publishers, Boston, 2000.
 
 

【 References 】
1  Micromachines, a new era in mechanical engineering, Iwao Fujimasa, Oxford Science Publication, 1996. 
2  Micro Mechanics and MEMS, classic and seminar papers to 1990, William S. Trimmer, IEEE press, 1997. 
3  On Size and Life, T. A. McMahon and J. T. Bonner, Scientific American Library, 1983. 
4  Fundamentals of Microfabrication, Marc Madou, CRC Press, 1997
5  Micromachined Transducers source book, Gregory T.A. Kovacs, McGraw Hill, 1998 
6  Semiconductor Sensors, S.M. Sze, Wiley Inter. Science, 1994. 
 
 
 
【 Teaching Method 】
　　Lectures, CAD software hand on practice, presentations 

 
【Syllabus 】
　Tentative Outline for Micro System Design:

1  Scope of the Micro System Design, the current status of Micro System Technology 
2  Brief Review of MEMS technology I - Scaling law (hw#1) 
3  Brief Review of MEMS technology III- lithography and IC process
4  Brief Review of MEMS technology II- Bulk micromachining (hw#2) 
5  Brief Review of MEMS technology IV- Surface micromachining, and others. 
6  Midterm#1 
7  Introduction and hand-on practice of MEMS design software-LEIDT (hw#3,) ( team formation) 
8  IC and MEMS foundry I.-MOSIS 
9  Coventerware ( High Speed Computer Centre) 
10  Design example I: IC process and Micro accelerometer design using MOSIS process (hw#4) 
11  Midterm #2 
12  IC and MEMS foundry II.-.Cronos 
13  Design example II: Micro comb-drive motor design using MUMPS process (hw#5) 
14  Thermal actuator design 
15  Special topics on MEMS design (Micro Droplet generator, BioMEMS and Micro Fluidics)
16  Final presentation 
＊

Final report due: one week after the final presentation 

  
 

 

  • 前往課程
    王俊堯 工程數學一
    Engineering Mathematics , Variable Separable Method , Ordinary Differential Equations , Integrating factors & Linear ODEs , Higher degree ODEs , Method of Variation parameter , The Laplace Transform - Transformation Theorems , The Laplace Transform - Systems of Linear Diff. Eqs , Series Solutions3 , Fourier Series
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    林永隆 電路與電子學
    Introduction to Circuits and Electronics , Circuits , Kirchhoff’s Current Law , Node-Voltage Analysis , Steady State Analysis , Rectifier Circuits , Bias Circuits , Power Supplies and Efficiency , Small-Signal Equivalent Circuits , CMOS Logic Gate
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    王俊堯 電路與電子學一
    Circuits and Electronics , Semiconductor Material & Diode , Basic Circuit Theories , Diode Circuit , The Field-Effect Transistor (FETs)
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    王俊堯 數位邏輯設計
    Digital Logic Design , Boolean Algebra , Quine-McClusky Method , Multiplexers , Decoders , and Programmable Logic Devices , Registers and Counters , Analysis of Clocked Sequential Circuits ,
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    蔡仁松 工程數學
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